量子器件与芯片加工中心以一流的科研环境和条，雄厚的技术实力和工艺开发能力，为全院乃至全校科研、教学工作提供专业的技术服务和支持。平台组织落实高质量量子器件与芯片的工艺开发与流片，开发了多比特、可扩展超导量子线路架构工艺，2英寸衬底上量子比特电阻均匀性优于2%，并成功研制了多比特(32 bit)量子芯片；完成了3D样品封装工艺的初步探索；在离子阱量子计算芯片、硅量子点计算芯片等制备方面也取得了一系列进展，解决了一大批量子计算领域关键科学与工程问题。